产品介绍:
CVD化学气相沉积管式炉(单管、双管、卧式、立式、单温区、双温区、三温区)主要应用于大专院校、科研院所、工矿企业等实验和小批量生产之用。主要用于电子陶瓷产品的预烧、烧结、渡膜、高温热解低温沉积(CVD)工艺等,设备的控制系统采用源厂进口产品,具有安全可行、操作简单、控温精度高(专家PID控制)、保温效果好、温度范围大、炉膛温度均匀性高、温区多、可通气氛、抽真空等特点。
详细的技术方案请联系:18355112806 微信同号
CVD中温管式炉主要技术参数表如下:
|
型号及规格
|
工作温度(℃)
|
炉管直径(mm)
|
温区长度(mm)
|
温区个数
|
加热元件
|
控制温度(℃)
|
功率(kW)
|
温度均匀性
|
|
CVD-03-30-1
|
1000
|
30
|
300
|
1
|
电阻丝
|
程序控温±1
|
2
|
±3℃
|
|
CVD-04-20-2
|
1000
|
40
|
200/200
|
2
|
电阻丝
|
程序控温±1
|
3
|
±3℃
|
|
CVD-05-20-3
|
1000
|
50
|
200/200/200
|
3
|
电阻丝
|
程序控温±1
|
4.5
|
±4℃
|
|
CVD-06-20-3
|
1000
|
60
|
200/200/200
|
3
|
电阻丝
|
程序控温±1
|
4.5
|
±4℃
|
|
CVD-155-25-3
|
1000
|
155
|
250/250/250
|
3
|
电阻丝
|
程序控温±1
|
9
|
±5℃
|
|
|